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> 불소수지사업 > 제품소개> EP 제품 |
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| 구분 |
규격 |
결과 |
시험방법/규격 |
| 표면거칠기
Ra(㎛) |
0.13
for UHP
0.2 for HP |
0.13
구현 |
(SEMASPEC
90120400B-STD)
Swagelock SC-01 |
| Cr/Fe |
비율
≥ 1.5 |
평균
1.5이상 |
ESCA |
| CrO/FeO |
비율
≥ 2.0 |
평균
2.0이상 |
SEMASPEC
90120403 STD |
산화층
두께
(A) |
평균
두께 ≥ 20 |
평균
25이상 |
AES
SEMASPEC 90120573B-STD |
| 결함
수 |
≤
40개/ 사진
사진크기 : 101 X 127mm |
15개
이내 |
SEM
SEMI F17-95 |
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